電子光學(xué)凈化車(chē)間設(shè)計(jì)方案需注意事項(xiàng)？
電子光學(xué)凈化車(chē)間設(shè)計(jì)需注意事項(xiàng)
（1）平面由工藝決定，電子凈化車(chē)間的工藝布局應(yīng)適應(yīng)電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求；
（2）主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系；
（3）大型電子行業(yè)潔凈廠房常采用上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層這種"夾心"式多層構(gòu)造；
（4）應(yīng)考慮大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的安裝、維修要求，設(shè)置必要的運(yùn)輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口；
（5）電子凈化車(chē)間按二級(jí)耐火等級(jí)設(shè)計(jì)；
（6）特種氣體的儲(chǔ)存和分配間應(yīng)有耐火隔墻與潔凈室（區(qū)）分開(kāi)，該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開(kāi)的，氣瓶與周?chē)鷺?gòu)筑物或圍欄之間的距離應(yīng)大于3M，儲(chǔ)存區(qū)設(shè)置的雨篷應(yīng)不低于3.5M；
（7）電子凈化車(chē)間的裝飾材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料；
（8）電子光學(xué)潔凈室車(chē)間允許設(shè)空氣吹淋室，這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應(yīng)與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數(shù)為30人一間設(shè)計(jì)，當(dāng)工作人員超過(guò)5人時(shí)，應(yīng)設(shè)旁門(mén)，當(dāng)人數(shù)太多或?yàn)榱丝s短通過(guò)時(shí)間，也可設(shè)遂道式吹淋室；
（9）對(duì)于潔凈等級(jí)高的潔凈車(chē)間，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性，照明燈具采用凈化淚珠形燈具；
（10）電子潔凈室車(chē)間常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境，以便抑制靜電的產(chǎn)生，將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除；
（11）電子潔凈室車(chē)間有對(duì)防微振的特殊要求，在廠地環(huán)境上應(yīng)避開(kāi)振動(dòng)源；
（12）電子凈化車(chē)間除有一般給排水要求外，對(duì)超大規(guī)格集成電路的用水也有標(biāo)準(zhǔn)；
電子光學(xué)潔凈車(chē)間的環(huán)境參數(shù)
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參 數(shù) |
數(shù) 值 |
說(shuō) 明 |
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截面風(fēng)速/（M/S） |
0.3-0.5 0.2-0.4 |
潔凈度1-3級(jí)（ISO）潔凈室 潔凈度4-5級(jí)（ISO）潔凈室 |
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換氣次數(shù)/（次/H） |
50-60 15-25 10-15 |
潔凈度6級(jí)（ISO）潔凈室 潔凈度7級(jí)（ISO）潔凈室 潔凈度8-9級(jí)（ISO）潔凈室 |
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靜壓差/PA |
>5 >10 |
不同等級(jí)潔凈室之間以及潔凈室與非潔凈室 之間潔凈室與室外之羊 |
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溫度/。C |
18-22 16-20 按具體工程項(xiàng)目要求24-26 26-28 按具體工程項(xiàng)目要求 |
工藝無(wú)要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 工藝無(wú)要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 |
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相對(duì)濕度/% 冬 夏 |
30-50 按具體工程項(xiàng)目要求 50-70 按具體工程項(xiàng)目要求 |
工藝無(wú)要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 工藝有要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 工藝無(wú)要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 工藝有要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 |
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新風(fēng)量/[M3/（人.H) |
40 |
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噪聲/DB(A) |
<65 |
單向流及單向流與非單向流并存的潔凈室 |
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照度/1X |
300-500 200-300 |
非單向流潔凈室主要生產(chǎn)用房(有低照度要求的如光刻、顯示器件等除外） 其他用房 |
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照度均勻度 |
0.7 |
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靜電表面電阻率 |
1*105—1*1010 |
一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)為1*105—1*107 |
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靜電體積電阻率 |
1*104-1*109 |
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地面對(duì)地的漏泄電阻 |
*105-1*108 |
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靜電壓 |
<50(45%相對(duì)濕度) |
4級(jí)(ISO)以上潔凈室 |
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振動(dòng)速度 振動(dòng)加速度 振幅 相對(duì)位移量 |
根據(jù)工藝或精密設(shè)備、儀器儀表特性確定或參照國(guó)標(biāo)<隔振設(shè)計(jì)規(guī)范> |
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電磁干擾 |
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