車間凈化工程無塵車間施工的要求
摘要:
芯片生產(chǎn)車間無塵室、集成電路無塵車間潔凈室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。1、電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)。
2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa
4、電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應取大值。
5、補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6、保證供給無塵車間潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
7、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區(qū),新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。
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